工業(yè)超純水設(shè)備系統(tǒng)采用多介質(zhì)過濾器、活性炭過濾器作及保安過濾器作為前級處理,有效除去原水中的懸浮物、泥砂、微粒、有機硅膠體、有機物、異味、余氯等雜質(zhì),使經(jīng)過離子交換處理后的水質(zhì)符合工業(yè)生產(chǎn)要求。在經(jīng)過后端進行精處理系統(tǒng)(混床系統(tǒng)),使其產(chǎn)水水質(zhì)滿足生產(chǎn)用水的要求。
電子、半導體、液晶顯示、光伏工業(yè)生產(chǎn)在制作過程中,往往需要使用極其純凈的超純水系統(tǒng),如果純水水質(zhì)達不到生產(chǎn)工藝用水的要求或者水質(zhì)不穩(wěn)定的話,會影響到后續(xù)工藝的處理效果和使用壽命。在光伏行業(yè)電子管生產(chǎn)中,如其中混入雜質(zhì),就會影響電子的發(fā)射,進而影響電子管的放大性能及壽命,在顯像管和陰極射線管生產(chǎn)中,其熒光屏內(nèi)壁用噴涂法或沉淀法附著一層熒光物質(zhì),如其配制純水中含銅在8ppb以上,就會引起發(fā)光變色。含鐵在50ppb以上就會使發(fā)光變色、變暗、閃動并會造成氣泡、條跡、漏光點等廢次品。
目前我國電子工業(yè)部把電子級水質(zhì)技術(shù)分為五個行業(yè)等級,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質(zhì)。
EDI超純水設(shè)備作為制取超純水的設(shè)備,作為反滲透設(shè)備后的二次除鹽設(shè)備,可以制取出高達10-18.2MΩ.CM。因此廣泛用于微電子工業(yè),半導體工業(yè),發(fā)電工業(yè),制藥行業(yè)和實驗室。也可以作為制藥蒸餾水、食物和飲料生產(chǎn)用水、發(fā)電廠的鍋爐的補給水,以及其它應(yīng)用高純水。
一、半導體行業(yè)超純水系統(tǒng)應(yīng)用領(lǐng)域
1、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水。
2、超純材料和超純化學試劑勾兌用超純水。
3、實驗室和中試車間用超純水。
4、汽車、家電表面拋光處理。
5、光電子產(chǎn)品。
6、其他高科技精微產(chǎn)品。
二、半導體行業(yè)超純水系統(tǒng)制作工藝
為滿足用戶需要,達到符合標準的水質(zhì),盡可能地減少各級的污染,在工藝設(shè)計上,取達國家自來水標準的水為源水,再設(shè)有介質(zhì)過濾器,活性碳過濾器,精密過濾器等預(yù)處理系統(tǒng)、RO反滲透主機系統(tǒng)、EDI超純水系統(tǒng)等。
1、介質(zhì)過濾器主要作用是去除源水中的懸浮物質(zhì)及機械雜質(zhì)設(shè)備由優(yōu)質(zhì)不銹鋼材料制作而成。體內(nèi)裝有布水帽、精制石英砂等,亦可裝其它填料。合理的石英砂裝填比例及良好的布水系統(tǒng),使系統(tǒng)的產(chǎn)水水質(zhì)更加穩(wěn)定。另外設(shè)備還設(shè)有氣體沖刷功能,能大限度地清除介質(zhì)上及床層中的污垢,提高出水水質(zhì)和延長工作周期。
2、活性碳過濾器具有除臭、去色、除油、吸附有機物雜質(zhì)等作用,能大程度的去除水中的游離余氯,確保反滲透膜的進水水質(zhì),設(shè)備由優(yōu)質(zhì)不銹鋼材料制成。
3、RO主機系統(tǒng)引進國際的反滲透技術(shù),利用壓力差原理,能有效地去除水中的鹽類,脫鹽率可達到99%左右。
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